首先來講，講到真空泵機組的維護與維修，點來講，關于其充入的保護性氣體，純度上不應該小于99.99%。緊接著，就真空泵機組設備來講，在很大的程度上也就是要注意不允許進行使用易燃易爆與具有腐蝕性氣體作為保護氣氛。

    緊接著，就真空泵機組的維護與維修，關于設備表面以及其儀表表面在很大的程度上也就是要注意保持清潔，擦拭爐體內壁不允許其出現有帶有水份或者是沾有非真空類用油的抹布進行擦拭。

    接下來，對于真空泵機組上的維護和維修，氣動系統上面的氣動三連件上的油水分離器要注意經常放水，油霧器當中應該是要注意注入真空擴散泵油。且設備在進行使用的時候，對于整機電壓在很大的程度上也就是應該是要保證在350～420 V范圍當中。三相要保持平衡。

   再者，我們其實也就是要注意一下真空泵機組上的規管或者是電接點壓力表與熱偶等地方也就是應該要注意經常涂上擴散泵油，使它和座之間形成了一層油膜，這樣一來，就能防止設備出現漏氣的現象。就上述各個部分以及其法蘭連接的地方不允許長期進行使用真空封泥密封，對于各個部分的螺栓也就是要注意定期進行檢查，當發現設備出現松動的時候，應該要及時擰緊。

    后，就真空泵機組進行工作的時候，要注意觀察一下各個儀表上的顯示情況，以及其各個泵的聲音，這樣來講，就其在很大的程度上也就是能方便我們及時的發現異常，然后方便我們找出問題。再者，就真空泵機組的使用環境，在相對濕度8處于5%以下，溫度也就是會在10～40℃。